Il-valur fil-mira tal-umdità relattiva f'kamra nadifa tas-semikondutturi (FAB)

Il-valur fil-mira tal-umdità relattiva f'kamra nadifa tas-semikondutturi (FAB) huwa ta' madwar 30 sa 50%, li jippermetti marġni ta' żball dejjaq ta' ±1%, bħal fiż-żona tal-litografija – jew saħansitra inqas fiż-żona tal-ipproċessar ultravjola 'l bogħod (DUV) – filwaqt li f'postijiet oħra jista' jiġi rilassat għal ±5%.
Minħabba li l-umdità relattiva għandha firxa ta' fatturi li jistgħu jnaqqsu l-prestazzjoni ġenerali tal-kmamar nodfa, inklużi:
1. Tkabbir batterjali;
2. Firxa ta' kumdità tat-temperatura tal-kamra għall-istaff;
3. Tidher ċarġ elettrostatiku;
4. Korrużjoni tal-metall;
5. Kondensazzjoni tal-fwar tal-ilma;
6. Degradazzjoni tal-litografija;
7. Assorbiment tal-ilma.

Batterji u kontaminanti bijoloġiċi oħra (moffa, viruses, fungi, dud żgħir) jistgħu jirnexxu f'ambjenti b'umdità relattiva ta' aktar minn 60%. Xi komunitajiet batterjali jistgħu jikbru f'umdità relattiva ta' aktar minn 30%. Il-kumpanija temmen li l-umdità għandha tiġi kkontrollata fil-medda ta' 40% sa 60%, li tista' timminimizza l-impatt tal-batterji u l-infezzjonijiet respiratorji.

Umdità relattiva fil-medda ta' 40% sa 60% hija wkoll medda moderata għall-kumdità tal-bniedem. Wisq umdità tista' ġġiegħel lin-nies iħossuhom imblukkati, filwaqt li umdità taħt it-30% tista' ġġiegħel lin-nies iħossuhom niexfa u maqsuma, skumdità respiratorja u niket emozzjonali.

L-umdità għolja fil-fatt tnaqqas l-akkumulazzjoni ta' ċċarġijiet elettrostatiċi fuq il-wiċċ tal-kamra nadifa – riżultat mixtieq. L-umdità baxxa hija ideali għall-akkumulazzjoni ta' ċċarġi u sors potenzjalment ta' ħsara ta' skariku elettrostatiku. Meta l-umdità relattiva taqbeż il-50%, iċ-ċarġijiet elettrostatiċi jibdew jinħallu malajr, iżda meta l-umdità relattiva tkun inqas minn 30%, jistgħu jippersistu għal żmien twil fuq iżolatur jew wiċċ mhux ertjat.

Umdità relattiva bejn 35% u 40% tista' tintuża bħala kompromess sodisfaċenti, u l-kmamar nodfa tas-semikondutturi ġeneralment jużaw kontrolli addizzjonali biex jillimitaw l-akkumulazzjoni ta' ħlasijiet elettrostatiċi.

Il-veloċità ta' ħafna reazzjonijiet kimiċi, inklużi l-proċessi ta' korrużjoni, tiżdied biż-żieda tal-umdità relattiva. L-uċuħ kollha esposti għall-arja madwar il-kamra nadifa huma veloċi.