Il-valur immirat tal-umdità relattiva f'kamra nadifa tas-semikondutturi (FAB).

Il-valur immirat tal-umdità relattiva f'kamra nadifa tas-semikondutturi (FAB) huwa bejn wieħed u ieħor 30 sa 50%, li jippermetti marġini dejjaq ta 'żball ta' ± 1%, bħal fiż-żona tal-litografija - jew saħansitra inqas fl-ipproċessar ultravjola bogħod (DUV) żona - filwaqt li x'imkien ieħor jista 'jiġi rilassat għal ± 5%.
Minħabba li l-umdità relattiva għandha firxa ta 'fatturi li jistgħu jnaqqsu l-prestazzjoni ġenerali ta' kmamar nodfa, inklużi:
1. Tkabbir batterjali;
2. Firxa ta 'kumdità tat-temperatura tal-kamra għall-persunal;
3. Jidher ċarġ elettrostatiku;
4. Korrużjoni tal-metall;
5. Kondensazzjoni tal-fwar tal-ilma;
6. Degradazzjoni tal-litografija;
7. Assorbiment ta 'ilma.

Batterji u kontaminanti bijoloġiċi oħra (forom, viruses, fungi, dud) jistgħu jirnexxu f'ambjenti b'umdità relattiva ta 'aktar minn 60%.Xi komunitajiet batterjali jistgħu jikbru f'umdità relattiva ta 'aktar minn 30%.Il-kumpanija temmen li l-umdità għandha tiġi kkontrollata fil-medda ta '40% sa 60%, li tista' timminimizza l-impatt ta 'batterji u infezzjonijiet respiratorji.

L-umdità relattiva fil-medda ta '40% sa 60% hija wkoll firxa moderata għall-kumdità tal-bniedem.Wisq umdità tista 'tagħmel lin-nies iħossuhom misdud, filwaqt li l-umdità taħt it-30% tista' tagħmel lin-nies iħossuhom niexfa, ġilda mqaxxar, skumdità respiratorja u dispjaċir emozzjonali.

L-umdità għolja fil-fatt tnaqqas l-akkumulazzjoni ta 'charges elettrostatiċi fuq il-wiċċ tal-kamra nadifa - riżultat mixtieq.Umdità baxxa hija ideali għall-akkumulazzjoni ta 'ċarġ u sors potenzjalment ta' ħsara ta 'skarigu elettrostatiku.Meta l-umdità relattiva taqbeż il-50%, il-piżijiet elettrostatiċi jibdew jinxterdu malajr, iżda meta l-umdità relattiva tkun inqas minn 30%, jistgħu jippersistu għal żmien twil fuq iżolatur jew wiċċ mhux ertjat.

L-umdità relattiva bejn 35% u 40% tista 'tintuża bħala kompromess sodisfaċenti, u l-kmamar nodfa tas-semikondutturi ġeneralment jużaw kontrolli addizzjonali biex jillimitaw l-akkumulazzjoni ta' piżijiet elettrostatiċi.

Il-veloċità ta 'ħafna reazzjonijiet kimiċi, inklużi proċessi ta' korrużjoni, se tiżdied biż-żieda ta 'umdità relattiva.L-uċuħ kollha esposti għall-arja madwar il-kamra nadifa huma malajr.